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第三十九章 检测, 没有任何缺陷!
  一个总裁模样的男人慢悠悠地回答:“毕竟事关国家机密,限制人数也正常。”
  “不正常!”纪瑶猛地站了起来,在会议室里来回踱步,“要真有成果,徐阳会大肆宣扬,藏着掩着,肯定有蹊跷!”
  有人好奇地问:“什么蹊跷?”
  纪瑶思来想去,梗着脖子说:“里面的人,帮着徐阳掩瞒光刻机没有进展的事!”
  会议室里顿时炸开了锅。
  马星恨不得挖个地缝钻进去。
  他悄悄地往旁边挪了挪椅子,试图和纪瑶拉开距离。
  金国强没忍住,“噗嗤”一声笑了出来,他赶紧捂住嘴,但肩膀还是止不住地颤抖。
  纪瑶却丝毫没有察觉到周围异样的气氛,反而更加坚定了自己的想法:“一定是徐阳给了进实验室的人什么好处,所有人都帮他瞒着!”
  虽然大多数人都认为徐阳短时间内制作出光刻机的可能性很小,但也知道纪瑶的猜想更离谱得可笑。
  纪瑶的智商再次刷新了他们的认知下限。
  马星小声提醒:“陆老也在列,你不要乱说。”
  纪瑶怒道:“肯定跟我猜的八九不离十!”
  有人小声问:“那你想怎样?”
  纪瑶正气凛然:“我要拆穿他!有谁一起?”
  她环视众人,眼中的傲慢几乎要溢出来:“怎么?没人敢质疑徐阳?都和他穿一条裤子了?”
  会议室众人面面相觑。
  竟然真的有人站了出来。
  一个瘦高个,戴着厚厚眼镜的男人扶了扶眼镜,语气有些不确定:“我…我觉得纪总说的…也…也不是没有道理…”
  纪瑶激动地指着瘦高个:“你看!有人也觉得徐阳有问题!”
  马星捂住了脸。
  完了,这下彻底丢人丢到家了。
  这瘦高个是公司里出了名的墙头草,哪边风大往哪边倒,典型的没脑子。
  实验室里,气氛却截然不同。
  许映雪熟练地操作着设备,一边讲解流程:“首先,保证操作区的清洁程度,这是纳米级工艺的重中之重。然后清洗特种晶圆,再在其上均匀覆盖一层光刻胶。”
  她拿起一块晶圆,对着灯光展示:“这种特种晶圆透明度清晰度极高,光穿过后无限趋近于0损耗,是目前最先进的材料。”
  杨方看着闪烁探测器实时显示的数据,啧啧称奇:“这探测器真方便,实时监控,数据精确,简直是神器啊!”
  陆天生抚着胡须,赞同道:“是啊,老夫也想要一个。”
  徐阳嘴角微微上扬:“这东西我做来玩玩的,如果大家有需要,可以考虑量产。”
  杨方眼睛一亮,抢着说:“这个项目我投了!老陆,算我一份!”
  陆天生哈哈大笑,指着杨方说道:“你小子,嗅觉倒是灵敏!”
  许映雪检查完掩膜版,朝徐阳比了个OK的手势。
  徐阳走到光刻机光源处,语气淡然:“指令已经写好,感兴趣的话可以去液晶屏上看。现在,我要开启光源了。”
  众人屏住呼吸,目光紧紧地盯着光刻机。
  光源开启,一道耀眼的光线瞬间射出。
  闪烁探测器在大屏幕上实时展示着光刻机内部光线的变换。
  许映雪指着屏幕讲解:“光线经过光学系统的准直、聚焦等处理后照射在掩膜版上,再通过掩膜版将图案投射到晶圆表面的光刻胶上。”
  在众人紧张的注视下,图案清晰地投射到晶圆表面的光刻胶上,发生化学反应后,光刻胶图案在晶圆上显现出来。
  “成了!”杨方忍不住低呼一声。
  其他人也纷纷发出惊叹声。
  徐阳却依旧保持冷静:“别急,还有显影这一步。显影液成分是米吐尔、对苯二酚、菲尼酮等,显影能力和速度都好,这一步多半没问题。”
  他按下按钮,曝光过后的晶圆被显影液吞没。
  由于不同成分在显影液中的溶解度不同,光刻胶上的图案很快在晶圆上清晰地显现出来,7纳米的刻蚀精度纤毫毕现。
  杨方激动地跳了起来,高声喊道:“成了!这是龙国的一大步!”
  许多人跟着欢呼起来,脸上洋溢着兴奋和自豪。
  “就这?”一个头发乱糟糟的科研人员怀疑道,“7纳米?光刻精度肉眼也看不出来啊。”
  徐阳泰然自若。
  他微微一笑,做了个“请”的手势:“各位随意测试,当然,安全第一。”
  一个年轻的科研人员,名叫小邓,弱弱地举起手:“徐…徐顾问,我…我能用我的电子显微镜看看吗?”
  “当然可以。”徐阳爽快地答应了。
  小邓一路小跑,小心翼翼地捧着他的宝贝电子显微镜回来,仔细地将其安装调试好。他将晶圆放置在显微镜下,开始观察。
  随着放大倍数的提高,纳米级别的图形细节逐渐清晰地展现在屏幕上。
  小邓瞪大了眼睛,喜出望外:“真的是7纳米!每一个图形的尺寸都完美符合设计要求!”他一边说,一边激动地读出每个图形的尺寸数据。
  周围的科研人员纷纷凑上前,一边听着小邓报出的数据,一边与原图案进行对比。
  结果完全一致,没有任何偏差。
  陆天生抚摸着胡须,沉吟道:“电子显微镜观察毕竟只是局部,不如用AOI系统全面检测一下。”
  徐阳点点头:“陆老说的对,AOI系统检测结果会更精确。”
  于是,晶圆被送入AOI系统进行全面检测。
  几分钟后,检测结果出来了:没有任何缺陷!
  小邓兴奋得满脸通红,连忙掏出笔记本记录数据:“我还得拿这块晶圆去用套刻精度测量设备过一下,就是…时间会长一点。”
  “去吧,多带几个人帮你。”徐阳吩咐道。
  小邓带着几个助手,兴冲冲地离开了。
  许映雪环视众人,语气中带着一丝骄傲:“现在,各位都相信我们能做好AI高级芯片了吧?”
  陆天生哈哈大笑:“我相信你们这些年轻人!长江后浪推前浪啊!”
  “陆老您的功劳也不小啊。”徐阳笑着说道。
  陆天生摆摆手:“都是为了国家嘛!好了,大家都辛苦了,接下来,我们去跟留在会议室的几位商讨具体分配任务的问题。”
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